催化燃燒設備，一般選用固定床催化反應器。反應器的規劃按規范進行，應便于操作，修補便當，便于裝卸催化劑。
 

在進行催化燃燒的工藝規劃時，應根據詳細情況，關于處理氣量較大的場合，規劃成分建式流程，即預熱器、反應器獨立裝設，其間用管道聯接。關于處理氣量小的場合，可選用催化燃燒爐，把預熱與反應組合在一起，但要留神預熱段與反應段間的距離。

在有機物廢氣的催化燃燒中，所要處理的有機物廢氣在高溫下與空氣混合易引起爆破，安全問題十分重要。因而，一方面有必要控制有機物與空氣的混合比，使之在爆破下限；另一方面，催化燃燒系統應設監測報警設備和有防爆方法。